Probe Station

释义 Definition

探针台：一种用于对晶圆（wafer）或微小电子器件进行电学测试的设备。它通过显微镜定位，并用探针（probe needles）与芯片焊盘接触，连接到测试仪器（如参数分析仪、示波器等）以测量电压、电流、射频等特性。（在半导体研发、失效分析与晶圆级测试中常见。）

发音 Pronunciation (IPA)

/proʊb ˈsteɪʃən/

例句 Examples

The engineer used a probe station to test the wafer before packaging.
工程师在封装前用探针台测试了晶圆。

In the lab, the automated probe station, combined with a parameter analyzer, enables precise I–V measurements across thousands of dies at controlled temperatures.
在实验室里，自动化探针台与参数分析仪配合，可在控温条件下对成千上万个芯粒进行精确的电流—电压（I–V）测量。

词源 Etymology

probe 原意为“探查、探针”，来自拉丁语 probare（检验、证明）；在电子领域引申为“用于接触并测量的探针”。station 来自拉丁语 statio（站立处、岗位），在工程语境中常指“工作站/设备台”。合起来 probe station 字面即“探针工作台”，指用于探针接触与测量的测试平台。

相关词 Related Words

• Wafer
• Die
• Pad
• Microscope
• Probe
• Probing
• Parameter Analyzer
• Semiconductor
• Test Fixture
• Wafer Prober

文学/著作中的用例 Literary / Notable Works

• 《Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology》（半导体制造技术手册）：在晶圆级测试与量测章节中讨论探针台/晶圆探测设备及其应用。
• 《Semiconductor Device Characterization》（半导体器件表征，常见教材/参考书）：介绍使用探针台进行 I–V、C–V 等电学表征的方法与注意事项。
• 《Fundamentals of Semiconductor Devices》（半导体器件基础类教材的一些版本/配套实验材料）：在实验与测量部分提及用探针台进行器件测量的流程。